MOS管的工藝流程具體是怎么操作呢?
MOS管也叫場效應管,是電源電路中非常敏感的電子元器件,主要起開關的作用。在市場上我們見到的大大小小的品牌MOS管,除絲印之外,看上去外表都一樣,大小相當,并無實質性差別。然而,要成為一顆率、高品質的MOS管,要通過各種測試以及老化。
MOS管主要的工藝流程:
1.將硅單晶切成大圓片,并加以研磨、拋光。
2.拋光后的片子經仔細清洗后,熱生長一層二氧化硅層。(一次氧化)
3.用光刻技術可除漏、源擴散窗口上的二氧化硅。(一次光刻)
4.進行選擇性的雜質擴散。
5.去處所有二氧化硅,重新生長一層質量良好的柵極二氧化硅層,并進行磷處理。(二次氧化+磷處理)
6.刻除漏、源引線窗口上的二氧化硅。(二次光刻)
7.在真空系統中蒸發鋁。(鋁蒸發)
8.反刻電極。
9.進行合金。
10.檢出性能良好的管芯,燒焊在管座上,鍵合引線。
11.監察質量(中測)
12.封上管帽,噴漆。
13.總測。
14.打印,包裝。
深圳銀聯寶科技電子的MOS管內置多晶硅齊納二極管來提升靜電防護能力,具有高可靠性和高穩定性,率,高EAS的能力,采用優化柵極氧化工藝及其他相關工藝,增加柵源耐電壓擊穿能力。
除此之外,銀聯寶科技MOS管還要通過七道嚴格測試,即溫度循環測試、高壓蒸煮測試、恒溫恒濕測試、高溫反偏測試、高溫柵偏測試、功率循環測試、預處理實驗。
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